靜電是凈化車間最難控制的因素之一，靜電可以使半導體器件生產中的廢品增多、降低電子設備的可靠性。因此，在半導體器件的生產中，所有的制造階段都需要防止靜電對器件的作用。

　　消除靜電的方法很多，對有防靜電環境要求的凈化車間工程，常用以下幾種方法：

　　1、選用合適的材料：

　　凈化車間裝修要采用不易產生靜電或產生靜電后能較快泄漏的材料，多種材料共同使用時，應選用在電序列表中位置接近的材料。所有的材料可歸入電的導體或電的絕緣體。導體是電流能通過的材料，絕緣體是電流不能通過的材料。

　　2、接地：

　　接地是帶電導體消除靜電最為普遍、經濟、簡便、可靠的方法。

　　(1) 凈化車間內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施。

　　(2) 電子工業潔凈室的圍護結構(吊頂、地面、墻、柱)應采用防靜電裝飾，可以抑制塵埃的帶電吸附。

　　(3) 工藝設備接地。

　　(4)辦公設備應采用能防靜電的材料制成并接地。

　　(5)工作人員應穿戴防靜電的無塵衣、鞋、帽、手套、腕帶等。

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