靜電是凈化車間最難控制的因素之一，靜電可以使半導體器件生產中的廢品增多、降低電子設備的可靠性。因此，在半導體器件的生產中，所有的制造階段都需要防止靜電對器件的作用。
消除靜電的方法很多，對有防靜電環境要求的凈化車間工程，常用以下幾種方法：
1、選用合適的材料：
凈化車間裝修要采用不易產生靜電或產生靜電后能較快泄漏的材料，多種材料共同使用時，應選用在電序列表中位置接近的材料。所有的材料可歸入電的導體或電的絕緣體。導體是電流能通過的材料，絕緣體是電流不能通過的材料。
2、接地：
接地是帶電導體消除靜電最為普遍、經濟、簡便、可靠的方法。
(1) 凈化車間內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施。
(2) 電子工業潔凈室的圍護結構(吊頂、地面、墻、柱)應采用防靜電裝飾，可以抑制塵埃的帶電吸附。
(3) 工藝設備接地。
(4)辦公設備應采用能防靜電的材料制成并接地。
(5)工作人員應穿戴防靜電的無塵衣、鞋、帽、手套、腕帶等。
3、中和：
將帶電體(靜電)周圍的空氣離子化后，帶電的離子在電磁場作用下發生遷移，帶電體吸引異性電荷達到中和而消除靜電。靜電消除器是一種能產生電 子和離子的裝置，它產生的電子、離子與帶電體上的異性電荷中和，從而消除靜電。絕緣材料表面所帶的靜電荷、空氣中的靜電荷必須用靜電中和的辦法來消除。
4、濕度控制：
在眾多消除靜電的方法中，室內濕度控制也被認為可以用來減少和消除凈化車間靜電。通過在環境中保持高的相對濕度，在該區域內物體的表面將形成薄薄的濕氣層，利用這一薄層來提供導電的通道，使得可能產生的電荷流過該濕氣層耗散靜電荷。另外，薄薄的濕氣層可以增加物體表面的潤滑性，摩擦生電也將減少。一般來說，濕度越低，產生的電荷越多。但是資料表明，甚至在濕度高時也會產生顯著的靜電電壓，但是，在高濕度環境中，生產人員可能會感覺十分不舒服，零部件可能生銹，并產生可焊性問題。同時，企圖用濕度控制來消除靜電的方法顯然是高耗費的，尤其在干燥地區更是如此。
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